เทคนิคการวัดความหนาของฟิล์มบางนิเกิลที่เคลือบบนกระจกสไลด์โดยวิธีอาร์เอฟสปัตเตอร์ริง โดยใช้ฟิล์มบางนิเกิลเป็นกระจกบานหนึ่งในมาตรแทรกสอดแบบไมเคลสัน และโดยการเคลือบฟิล์มบางแบบขั้นบันได แล้วนำไปวางขวางที่แขนใดแขนหนึ่งของมาตรแทรกสอดแบบไมเคลสัน ริ้วการแทรกสอดที่เกิดขึ้นจากทั้งสองกรณีสามารถหาความหนาของฟิล์มบาง ผลการทดลองพบว่าเปอร์เซ็นต์ความคลาดเคลื่อนของความหนาของฟิล์มบางประมาณ20 % ------------------------------------------------------------- The thin- film thickness of Nickel is measured by a Michelson interferometer. Two measuring techniques are used and compared the results. The first technique replaces one of mirrors with the sample under test. A micrometer on the mirror measures the optical path different between the thin film and no film. The second technique uses the step height change in the interference pattern where one arm of interferometer places with the step height in the film. The thickness of thin film obtained from both techniques are compared with an average error of 20%.