เครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่
ชื่อผู้ทำโครงงาน
ภูสิทธิ์ จันทนา
ชื่ออาจารย์ที่ปรึกษา
พิษณุ พูลเจริญศิลป์
สถาบันการศึกษา
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
ระดับชั้น
ปริญญาโทขึ้นไป
หมวดวิชา
ฟิสิกส์
วัน/เดือน/ปี ทำโครงงาน
01 มกราคม 2541
บทคัดย่อ
โครงงานนี้ได้มีการสร้างและทดสอบเครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งแบบหัวคู่ เพื่อใช้ศึกษาสมบัติทางไฟฟ้าของหัวเคลือบและสเปกตรัมของพลาสมาโดยใช้เป้าอะลูมิเนียมและเป้าทองแดง พบว่าแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่สามารถเคลือบฟิล์มหลายชั้นของอะลูมิเนียมและทองแดงได้ ความสัมพันธ์ระหว่างแรงดันที่ตกคร่อมและกระแสไฟฟ้าที่ไหลผ่านหัวเคลือบทำให้สามารถแบ่งแยกช่วงของการเกิดพลาสมาออกเป็น 3 ช่วง คือ ช่วงมืด ช่วงพลาสมาและช่วงการสปัตเตอร์ริ่ง และในการวัดสเปกตรัมสามารถตรวจพบสเปกตรัมของก๊าซอาร์กอน อะตอมของอะลูมิเนียมและอะตอมของทองแดง นอกจากนี้ฟิล์มสองชั้นที่เกิดจากการซ้อนทับระหว่างอะลูมิเนียมและทองแดงสามารถตรวจวัดแรงดันตกคร่อมฟิล์มเมื่อให้อุณหภูมิของฟิล์มเพิ่มขึ้น
คำสำคัญ
เคลือบ,ฟิล์ม,,แมกนีตรอน,สปัต,เตออ์,ริ่ง
ประเภท
Text
ลิขสิทธิ์
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
ผู้แต่ง หรือ เจ้าของผลงาน
ภูสิทธิ์ จันทนา
ระดับชั้น
ม.4, ม.5, ม.6
กลุ่มเป้าหมาย
ครู, นักเรียน
-
5666 เครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่ /project-mathematics/item/5666-2016-09-09-03-40-59-5666เพิ่มในรายการโปรด
คุณอาจจะสนใจ
Hits (75882)
ให้คะแนน
This paper aims to study physical properties of autoclaved aerated concrete of fly rice husk ratio ...
Hits (73470)
ให้คะแนน
ในการพัฒนา RNA affinity tag สำหรับใช้ในการทำ ribonucleoprotein ให้บริสุทธิ์นั้น RNA ligands หรือ ...
Hits (82304)
ให้คะแนน
โครงงานนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อศึกษาสมบัติทางไฟฟ้า สเปกตรัมทางแสงที่ปลดปล่อยออกมาจากพลาสมา ...