เครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่
ชื่อผู้ทำโครงงาน
ภูสิทธิ์ จันทนา
ชื่ออาจารย์ที่ปรึกษา
พิษณุ พูลเจริญศิลป์
สถาบันการศึกษา
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
ระดับชั้น
ปริญญาโทขึ้นไป
หมวดวิชา
ฟิสิกส์
วัน/เดือน/ปี ทำโครงงาน
01 มกราคม 2541
บทคัดย่อ
โครงงานนี้ได้มีการสร้างและทดสอบเครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งแบบหัวคู่ เพื่อใช้ศึกษาสมบัติทางไฟฟ้าของหัวเคลือบและสเปกตรัมของพลาสมาโดยใช้เป้าอะลูมิเนียมและเป้าทองแดง พบว่าแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่สามารถเคลือบฟิล์มหลายชั้นของอะลูมิเนียมและทองแดงได้ ความสัมพันธ์ระหว่างแรงดันที่ตกคร่อมและกระแสไฟฟ้าที่ไหลผ่านหัวเคลือบทำให้สามารถแบ่งแยกช่วงของการเกิดพลาสมาออกเป็น 3 ช่วง คือ ช่วงมืด ช่วงพลาสมาและช่วงการสปัตเตอร์ริ่ง และในการวัดสเปกตรัมสามารถตรวจพบสเปกตรัมของก๊าซอาร์กอน อะตอมของอะลูมิเนียมและอะตอมของทองแดง นอกจากนี้ฟิล์มสองชั้นที่เกิดจากการซ้อนทับระหว่างอะลูมิเนียมและทองแดงสามารถตรวจวัดแรงดันตกคร่อมฟิล์มเมื่อให้อุณหภูมิของฟิล์มเพิ่มขึ้น
คำสำคัญ
เคลือบ,ฟิล์ม,,แมกนีตรอน,สปัต,เตออ์,ริ่ง
ประเภท
Text
ลิขสิทธิ์
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
ผู้แต่ง หรือ เจ้าของผลงาน
ภูสิทธิ์ จันทนา
ระดับชั้น
ม.4, ม.5, ม.6
กลุ่มเป้าหมาย
ครู, นักเรียน
-
5666 เครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่ /project-physics/item/5666-2016-09-09-03-40-59-5666เพิ่มในรายการโปรด
คุณอาจจะสนใจ
Hits (72733)
ให้คะแนน
ในต้นดีปลีน้ำมีสารอยู่ 4 ชนิด ที่มีฤทธิ์ต้านเชื้อไวรัสโรคเริมได้ ...
Hits (80915)
ให้คะแนน
สมุนไพรเป็นสิ่งใกล้ตัว และใช้เป็นยารักษาโรคของบรรพบุรุษมาช้านาน ...
Hits (74789)
ให้คะแนน
ไวรัสไอเอชเอชเอ็นวีเป็นสาเหตุของโรคแคระแกรนในกุ้งขาว Penaeus vannamei ...