การวิจัยนี้เป็นการศึกษาวิธีการระเหยสารในระบบสุญญากาศในการเคลือบฟิล์มบางของทองแดงและอิทธิพลของระยะห่างระหว่างตัวให้ความร้อนถึงวัสดุรองรับ ด้วยเครื่องเคลือบฟิล์มบาง Veeco VE-300 จากการทดลองเคลือบทองแดงบนแผ่นแก้วสไลด์ พบว่าระยะห่างระหว่างตัวให้ความร้อนถึงวัสดุรองรับ มีผลต่อสมบัติของฟิล์มบาง ---------------------------------------------------------------------------------------------------------------- Abstract : This research is to study the evaporation technique of Cu thin film and also the influence of source-to-substrate distance on the properties of thin films by using Veeco VE-300 evaporator. Cu films were successfully grown on glass substrates. The result shows that the source-to-substrate distance has an affect on the properties of the film.
สถาบันส่งเสริมการสอนวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี (สสวท.) กระทรวงศึกษาธิการ เป็นหน่วยงานของรัฐที่ไม่แสวงหากำไร ได้จัดทำเว็บไซต์คลังความรู้ SciMath เพื่อส่งเสริมการสอนวิทยาศาสตร์ คณิตศาสตร์และเทคโนโลยีทุกระดับการศึกษา โดยเน้นการศึกษาขั้นพื้นฐานเป็นหลัก หากท่านพบว่ามีข้อมูลหรือเนื้อหาใด ๆ ที่ละเมิดทรัพย์สินทางปัญญาปรากฏอยู่ในเว็บไซต์ โปรดแจ้งให้ทราบเพื่อดำเนินการแก้ปัญหาดังกล่าวโดยเร็วที่สุด
The Institute for the Promotion of Teaching Science and Technology (IPST), Ministry of Education, a non-profit organization under the Thai government, developed SciMath as a website that provides educational resources in Science, Mathematics and Technology. IPST invites visitors to use its online resources for personal, educational and other non-commercial purpose. If there are any problems, please contact us immediately.
Copyright © 2018 SCIMATH :: คลังความรู้ SciMath. Terms and Conditions. Privacy. , All Rights Reserved.
อีเมล: This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. (ให้บริการในวันและเวลาราชการเท่านั้น)