โครงการพิเศษนี้ ศึกษาความหนาของฟิล์มบางไททาเนียมไนไตรด์ (TiNx) ที่เคลือบโดยวิธี ดี.ซี.แมกนีตรอน สปัตเตอริง บนแผ่นกระจกสไลด์และใบมีดกลึงเป็น substrates ก่อนเคลือบได้ทำการให้ความร้อนกับ substrates โดยอุณหภูมิที่ให้อยู่ระหว่าง 30° ถึง 180 °C และหาความหนาของฟิล์มไททาเนียมไนไตรด์ โดยใช้เครื่อง Scanning Electron Microscope (SEM) ผลที่ได้คือ เมื่อความร้อนที่ให้กับ substrates มีค่าเพิ่มขึ้น สีของฟิล์มไททาเนียมไนไตรด์เปลี่ยนจากสีทองเป็นสีเหลืองอมน้ำตาล ความหนาของฟิล์มไททาเนียมไนไตรด์บนแผ่นกระจกสไลด์ลดลงจาก 11.40 μm ถึง 1.30 μm และบนใบมีดกลึงลดลงจาก 292.19 μm ถึง 52.08 μm ------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- Abstract : In this special project, titanium nitride thin films were deposited by D.C. magnetron sputtering with slide glass and blade substrates: the samples should be heated between temperatures 30° to 180 °C before deposition. The thickness of TiNx films were determined by Scanning Electron Microscope (SEM). Results obtain a color range from gold to yellow-brown when the temperatures increased. The TiNx thickness were decreased from 11.40 μm to 1.30 μm on slide glass and 292.19 μm to 52.08 μm on blade.
สถาบันส่งเสริมการสอนวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี (สสวท.) กระทรวงศึกษาธิการ เป็นหน่วยงานของรัฐที่ไม่แสวงหากำไร ได้จัดทำเว็บไซต์คลังความรู้ SciMath เพื่อส่งเสริมการสอนวิทยาศาสตร์ คณิตศาสตร์และเทคโนโลยีทุกระดับการศึกษา โดยเน้นการศึกษาขั้นพื้นฐานเป็นหลัก หากท่านพบว่ามีข้อมูลหรือเนื้อหาใด ๆ ที่ละเมิดทรัพย์สินทางปัญญาปรากฏอยู่ในเว็บไซต์ โปรดแจ้งให้ทราบเพื่อดำเนินการแก้ปัญหาดังกล่าวโดยเร็วที่สุด
The Institute for the Promotion of Teaching Science and Technology (IPST), Ministry of Education, a non-profit organization under the Thai government, developed SciMath as a website that provides educational resources in Science, Mathematics and Technology. IPST invites visitors to use its online resources for personal, educational and other non-commercial purpose. If there are any problems, please contact us immediately.
Copyright © 2018 SCIMATH :: คลังความรู้ SciMath. Terms and Conditions. Privacy. , All Rights Reserved.
อีเมล: This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. (ให้บริการในวันและเวลาราชการเท่านั้น)